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设备/型号

简介

场发射扫描电子显微镜

Apreo S

测试项目：透射、表面形貌观察、微区元素定性及半定量分析（微区元素的线分布、面分布）。

测试范围：

二次电子像分辨率：0.7nm（15kV高、低真空）
STEM像分辨率：0.6nm（30kV高真空）  
EDS能量分辨率(Mn-Ka)：129eV

应用领域：材料、物理、生物、化学、热能、环境、地球科学、光电子等领域；粉末、微粒样品形态测定；金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物、细胞等材料的显微形貌分析。

扫描电子显微镜 - 能谱仪

Hitachi  SU1510

测试项目：表面形貌观察、微区元素定性及半定量分析（微区元素的线分布、面分布）。

测试范围：

二次电子分辨率：3.0 nm(高真空，30 kV)

背散射电子分辨率：4.0 nm(低真空，30 kV)

EDS能量分辨率：125 eV(Mn Kα)

应用领域：材料、物理、生物、化学、热能、环境、地球科学、光电子等领域；粉末、微粒样品形态测定；金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物、细胞等材料的显微形貌分析。

椭偏仪

HORIBA UVISEL Plus

测试项目：界面厚度、膜层厚度、氧化层厚度、粗糙界面等尺寸测量；折射率(n)、消光系数(k)等光学性质测试。

波长范围：190-1700 nm

厚度测量范围：1nm-15μm

应用领域：应用于微电子、纳米技术、柔性显示材料、光电子等领域

原子力显微镜

Jupiter XR

测试项目：样品的表面观察、尺寸测定、表面粗糙度、表面颗粒度分析、表面电势梯度和电荷分布、表面磁畴、生物细胞的表面结构。